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          1200℃CVD一體機

          發布時間:2021-04-20  瀏覽次數:412

           

          設備簡介:

          NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進制造工藝,從美學藝術角度出發根據人體安全的角度設計,控制系統采用先進的PLC+觸摸屏操控系統,操作更加簡單方便。溫度控制采用先進的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。

                    

           

           

           

           

           

           


           

          1.爐體與控制系統集成一體化,使試驗方便快捷直觀。

          2.配有多路質量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。

          3.精確PID程序多段控制,實現不同工藝多段溫度時間監控。

          4.爐襯采用高純氧化鋁輕質纖維材料,保溫效果極佳。

          5.配備機械泵和分子真空泵,可以實現高真空條件。

          品型號

          NBD-CVDO1200

          爐管直徑

          Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自選)

          工作溫度

          ≤1100

          溫區選擇

          單溫區

          雙溫區

          三溫區

          加熱區尺寸

          440mm

          200mm + 200mm

          200mm + 400mm + 200mm

          電器規格

          AC220V 4KW

          AC220V 5KW

          AC220V 8KW

          升溫速率

          建議 10/min

          控制系統

           

          氣體系統(可選購)

          流量計類型

          浮子流量計

          質量流量計

          管道示意圖

           

           

          進氣接口數量

          2、3、4(多路可選)

          流量范圍

          20-250/20-800ml/min(多量程可選)

          50/100/200sccm(多量程可選)

          工作壓差范圍

          0-0.15MPa

          低真空系統(可選購)

          真空泵型號

          NBD-1.5C

          NBD-3C

          NBD-4C

          抽氣速率

          1L/s

          3L/s

          4L/s

          進排氣口尺寸

          Φ8mm寶塔接頭

          Φ8mm寶塔接頭

          KF16/25

          極限壓力

          1000Pa

          100Pa

          10Pa

          工作溫度

          5-40

          電氣規格

          AC220V

          高真空系統(可選購)

          真空泵型號

          NBD-103(A)

          NBD-103(B)

          NBD-103(C)

          抽氣速率

          110L/s

          600L/s

          700L/s

          真空測量計

          復合真空計

          極限壓力

          10^-3Pa

          10^-4Pa

          10^-5Pa

          工作溫度

          5-40

          電氣規格

          AC 220V

          AC 220V

          AC 380V

          * 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746



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