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          多溫區CVD系統

          發布時間:2020-07-01  瀏覽次數:1255

           


          設備簡介:

          多溫區CVD系統一體爐,供氣和真空系統靈活組合,滿足各類薄膜沉積,在半導體工業中應用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料,以及大多數金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統,適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環??茖W等領域。 

            


           

           

           

           

          1.采用高純石英或不銹鋼材質爐管,耐腐蝕耐高溫性能優越;

          2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優越,降低設備功耗;

          3.爐體采用雙層風冷結構工藝,自動抬升系統開啟上蓋;

          4.NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,實時加熱功率顯示,非線性式樣溫度修正;實驗報告自主生成,實驗數據無限次導出。

          5.一體化設備包含多路供氣系統,多溫區加熱系統和高真空系統;

          產品型號

          三溫區

          四溫區

          五溫區

          六溫區

          爐管尺寸

          ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm

          工作溫度

          ≤1150

          加熱區選擇

          (可定制)

          200mm*3

          200+300+200mm

          200+400+200mm

          300mm*3

          300+400+300mm

          200mm*4

          200+300+300+200mm

          200+400+400+200mm

          300mm*4

          300+400+400+300mm

          200mm*5

          300mm*5

           

          200mm*6

          300mm*6

           

          升溫速率

          20/min

          電氣規格

          AC380V 6~10KW

          AC380V 8~14KW

          AC380V 10~15KW

          AC380V 12~18KW

          氣體系統(可選購)

          浮子或質子

          管道示意圖

           

           

          進氣接口數量

          2、3、4(多路可選)

          流量范圍

          20-250/20-800ml/min......(多量程可選)

          50/100/200/500sccm......(多量程可選)

          工作壓差范圍

          0-0.15MPa

          低真空系統(可選購)

          真空泵型號

          NBD-3C/NBD-4C

          抽氣速率

          3L/s4L/s

          進排氣口尺寸

          KF16/25

          系統真空

          3~5Pa真空泵極限真空6.2*10-2Pa

          工作環境溫度

          5-40

          電氣規格

          AC220V

          高真空系統(可選購)

          真空泵型號

          NBD-103(A)

          NBD-103(B)

          抽氣速率

          110L/s

          600L/s

          真空測量計

          復合真空計

          系統真空

          4.310^-3Pa

          6*10^-4Pa

          工作溫度

          5-40

          電氣規格

          AC 220V

          AC 380V

          * 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746


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